基础信息Product information

产品名称：国产67GHz射频微波信号发生器

产品型号：

更新时间：2026-10-08

产品简介：

国产67GHz射频微波信号发生器
最高频率 13.6GHz / 20GHz / 40GHz / 67GHz
输出频率分辨率可达 0.001 Hz
电平设置范围 -130 dBm ~ +24 dBm
相位噪声＜-129 dBc/Hz@10 GHz，偏移 10 kHz(典型值)

产品特性Product characteristics

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国产67GHz射频微波信号发生器特性与优点

最高频率 13.6GHz / 20GHz / 40GHz / 67GHz

输出频率分辨率可达 0.001 Hz

电平设置范围 -130 dBm ~ +24 dBm

相位噪声＜-129 dBc/Hz@10 GHz，偏移 10 kHz(典型值)

幅度精度 ≤ 0.7 dB（典型值）

支持 AM，FM，PM 模拟调制，支持内外部调制方式

支持脉冲调制功能（选件），脉冲串发生器，用户可自定义脉冲序列（选件）

功率计控制套件，能够方便使用功率计测量功率，控制功率的输出，及线损修正

支持通过 FTP，web 接入设备，可以方便用户远程控制设备

5 英寸电容触摸屏，方便用户操作

丰富的通信接口：标配 USB-HOST，USB DEVICE（USB-TMC），LAN（VXI-11，Socket，Telnet），选配 GPIB

产品综述

SSG6083A，SSG6085A，SSG6087A，SSG6089A 微波模拟信号发生器，具有超低的相位噪声及良好的信号纯度。输出频率范围涵盖 100 kHz ~ 67 GHz，同时支持 AM 模拟调制，支持脉冲调制，脉冲序列发生器，功率计控制等功能。配置了高稳定度和高精度的 OCXO 参考，具有出色的稳定的信号输出，宽广的功率输出动态范围，适合应用各种研发及生产场景。

国产67GHz射频微波信号发生器主要参数

型号 SSG6083A SSG6085A SSG6087A SSG6089A

输出频率范围

CW MODE

100 kHz ~ 13.6 GHz

CW MODE

100 kHz ~ 20 GHz

CW MODE

100 kHz ~ 40 GHz

CW MODE

100 kHz ~ 67 GHz

频率设置分辨率 0.001 Hz

幅度分辨率 0.01 dB

幅度精度 ≤ 0.7 dB（典型值）

相位噪声

-135 dBc/Hz offset 10 kHz @1 GHz（测量值）标配

-115 dBc/Hz offset 10 kHz @10 GHz（测量值）标配

-130 dBc/Hz offset 10 kHz @10 GHz（测量值） SSG6080A-LPH2

显示 5英寸电容触摸屏，800*480（RGB）

参数规格

本规格适用条件为仪器处于校准周期内，在室内温度环境下存放至少两小时，并且预热 40 分钟。对于本手册中的数据，若无另行说明，均为包含测量不确定度的技术指标。

技术指标：表示产品保证的参数性能，适用于常温环境温度范围，除非另作说明。

典型值：表示在室温（约 25℃）条件下，80%的测试结果均可达到的典型性能，置信度 95%。该数据并非保证数据，并且不包含测量的不确定度。

标称值：表示预期的平均性能或设计的性能特征，如 50Ω连接器。该数据并非保证数据，并且是在室温（约 25℃）条件下测量所得，并且不包含测量的不确定度。

频率特性

频率

频率范围

SSG6083A CW MODE 100 kHz - 13.6 GHz

SSG6085A CW MODE 100 kHz - 20 GHz

SSG6087A CW MODE 100 kHz - 40 GHz

SSG6089A CW MODE 100 kHz - 67 GHz

频率设置分辨率 0.001 Hz【1】

设置时间

< 10 ms（典型值） ALC ON

< 20 ms（典型值） ALC OFF（S&H）

内部参考源

标配 Option with SSG6080A-LPH1/ SSG6080A-LPH2【2】

参考频率 10.000000 MHz 10 MHz

初始准确度 ±100 ppb 30 ppb

温度稳定度 ±1 ppb，0℃ ~ 50℃ ±1 ppb , 0℃ ~ 50℃

频率老化率 50 ppb/1年 ±30 ppb/1年

频率扫描

扫描方式

步进扫描（等间隔或对数间隔的频率步进）

列表扫描（以任意频率为步进的列表）

扫描范围 仪器的频率范围内

扫描形状 三角波，锯齿波

扫描模式 单次，连续

步进变化 线性或者对数

扫描点数

步进扫描：2 - 65535

列表扫描：1 - 500

驻留时间 10 ms - 100 s，ALC ON

驻留时间设置分辨率 0.1 ms

触发方式 自动，按键触发，外部触发，总线触发（GPIB，USB，LAN）

触发沿 上升沿触发，下降沿触发，仅当触发为外部触发时，需要设置

【1】 序列号 SSG6AA3XXXXXXX 第 7 位≥3，频率分辨可以满足 0.001Hz，支持 FM,PM。

【2】 当选配了 SSG6080A-LPH1 和 SSG6080A-LPH2 选件时，会配置一个更好的 OCXO 改善近端相位噪声。

频谱纯度

谐波

CW模式，1 MHz < f ≤ 2 GHz，输出电平 ≤ 10 dBm ＜-30 dBc

CW模式，2 GHz < f ≤ 4 GHz，输出电平 ≤ 10 dBm ＜-50 dBc

CW模式，4 GHz < f ≤ 20 GHz，输出电平 ≤ 10 dBm ＜-50 dBc

CW模式，20 GHz < f ≤ 40 GHz，输出电平 ≤ 10 dBm ＜-46 dBc

次谐波

CW模式，1 MHz < f ≤ 40 GHz，输出电平 ≤ 10 dBm ＜-80 dBc

CW模式，40 GHz < f ≤ 67 GHz，输出电平 ≤ 10 dBm ＜-60 dBc

非谐波

CW模式，载波偏移 > 10 kHz，1 MHz < f ≤ 4 GHz ＜-60 dBc

CW模式，载波偏移 > 10 kHz，4 GHz < f ≤ 40 GHz ＜-50 dBc

CW模式，载波偏移 > 10 kHz，40 GHz < f ≤ 67 GHz ＜-44 dBc

单边带

相位噪声

CW模式，载波偏移 = 10 kHz，1 Hz测量带宽

f = 100 MHz ＜-130 dBc/Hz（典型值）

f = 1 GHz ＜-135 dBc/Hz（典型值）

f = 4 GHz ＜-123 dBc/Hz（典型值）

f = 6 GHz ＜-119 dBc/Hz（典型值）

f = 10 GHz ＜-116 dBc/Hz（典型值）

f = 20 GHz ＜-109 dBc/Hz（典型值）

f = 40 GHz ＜-103 dBc/Hz（典型值）

单边带

相位噪声

CW模式，载波偏移 = 100Hz，1 Hz测量带宽

f = 100 MHz ＜-114 dBc/Hz（典型值）

f = 1 GHz ＜-122 dBc/Hz（典型值）

f = 4 GHz ＜-110 dBc/Hz（典型值）

f = 6 GHz ＜-107 dBc/Hz（典型值）

f = 10 GHz ＜-102 dBc/Hz（典型值）

f = 20 GHz ＜-95 dBc/Hz（典型值）

f = 40 GHz ＜-89 dBc/Hz（典型值）

相位噪声 option SSG6080A-LPH1

单边带

相位噪声，

CW模式，

1 Hz测量

带宽

偏移量（测量值）

载波频率 1Hz 10Hz 100Hz 1kHz 10kHz 100kHz 1MHz

1 GHz -74 -86 -116 -136 -144 -148 -146

4 GHz -59 -74 -108 -126 -133 -136 -133

8 GHz -52 -69 -100 -114 -125 -131 -130

10 GHz -50 -64 -93 -111 -123 -130 -129

20 GHz -44 -58 -87 -105 -120 -124 -123

40 GHz -38 -52 -81 -99 -114 -118 -117

相位噪声 option SSG6080A-LPH2

单边带

相位噪声，

CW模式，

1 Hz测量

带宽

偏移量（测量值）

载波频率 1Hz 10Hz 100Hz 1kHz 10kHz 100kHz 1MHz

100 MHz -91 -108 -122 -134 -143 -145 -147

1 GHz -72 -88 -124 -138 -146 -151 -152

4 GHz -61 -74 -110 -128 -136 -142 -143

8 GHz -53 -68 -103 -118 -129 -136 -138

10 GHz -54 -68 -101 -117 -128 -135 -138

20 GHz -48 -62 -95 -110 -121 -129 -131

40 GHz -40 -55 -89 -104 -115 -123 -124

二次谐波 VS 载波频率，输出电平=0＆10 dBm

单边带相位噪声

电平特性

ALC 模式

SSG6000A 包含三种 ALC 工作模式。

ALC STATE AUTO：根据当前工作状态自动设定最佳 ALC 模式。

ALC STATE ON：电平控制处于闭环状态，这种适用于连续波，FM 以及 PM。

ALC STATE OFF（S&H）：当频率或者幅度变化时，电平控制环路先闭环，然后采样控制电压，保持控制电压不变。ALC 工作模式为自动时，幅度调制或者脉冲调制会工作在此状态。

电平特性

电平设置范围（SSG6083A/ SSG6085A/ SSG6087A）

100 kHz ≤ f＜3 MHz -110 dBm ~ 15 dBm

3 MHz ≤ f ≤ 4 GHz -130 dBm ~ 24 dBm

4 GHz＜f ≤ 6 GHz -130 dBm ~ 20 dBm

6 GHz＜f ≤ 20 GHz -120 dBm ~ 20 dBm

20 GHz＜f ≤ 40 GHz -120 dBm ~ 20 dBm

电平设置范围（SSG6089A）

100 kHz ≤ f＜3 MHz -110 dBm ~ 15 dBm

3 MHz ≤ f ≤ 4 GHz -110 dBm ~ 24 dBm

4 GHz＜f ≤ 6 GHz -110 dBm ~ 20 dBm

6 GHz＜f ≤ 20 GHz -110 dBm ~ 20 dBm

20 GHz＜f ≤ 40 GHz -110 dBm ~ 15 dBm

40 GHz＜f ≤ 67 GHz -110 dBm ~ 15 dBm

设置分辨率 0.01 dB

步进衰减器 0 to 110 dB 范围，10dB 步进衰减器

最大输出功率（SSG6083A&SSG6085A）（保证指标精度）

100 kHz ≤ f＜3 MHz 13 dBm

3 MHz ≤ f ≤1 GHz 22 dBm

1 GHz < f ≤2 GHz 20 dBm

2 GHz< f ≤4 GHz 18 dBm

4 GHz < f ≤ 6 GHz 15 dBm

6 GHz<f ≤ 18 GHz 17 dBm

18 GHz<f ≤ 20 GHz 14 dBm

最大输出功率（SSG6087A）（保证指标精度）

100 kHz ≤ f <3 MHz 8 dBm

3 MHz ≤ f ≤ 4 GHz 16 dBm

4 GHz < f ≤ 6 GHz 12 dBm

6 GHz < f ≤ 15 GHz 12 dBm

15 GHz < f ≤ 20 GHz 12 dBm

20 GHz < f ≤ 40 GHz 12 dBm

最大输出功率（SSG6089A）（保证指标精度）

100 kHz ≤ f <3 MHz 10 dBm

3 MHz ≤ f ≤ 4 GHz 16 dBm

4 GHz < f ≤ 6 GHz 11 dBm

6 GHz < f ≤ 15 GHz 11 dBm

15 GHz < f ≤ 26 GHz 10 dBm

26 GHz < f ≤ 40 GHz 8 dBm

40 GHz < f ≤ 50 GHz 8 dBm

50 GHz < f ≤ 64 GHz 8 dBm

64 GHz < f ≤ 67 GHz 8 dBm

电平误差（ALC ON，温度范围 20℃~30℃）

Max power

to 10 dBm

10 dBm

to -20 dBm

-20 dBm

to -90 dBm

-90 dBm

to -110 dBm

-110 dBm

to -120 dBm

100 kHz ≤ f < 1 MHz ≤ 0.7 dB ≤ 0.7 dB ≤ 1.1 dB

1 MHz ≤ f ≤ 40 GHz ≤ 1 dB ≤ 0.7 dB ≤ 1 dB ≤ 1.5 dB ≤ 2 dB

Max power

to 10 dBm

10 dBm

to -20 dBm

-20 dBm

to -90 dBm

-90 dBm

to -100 dBm

40 GHz ≤ f ≤ 67 GHz ≤ 1 dB ≤ 0.7 dB ≤ 1 dB ≤ 1.5 dB

额外增加误差 ALC State

Off(S&H) < 0.5 dB

最大输出功率，SSG6085A（不保证指标精度）

最大输出功率，SSG6087A（不保证指标精度）

5 0

10

15

20

25

30

0 2000 4000 6000 8000 10000 12000 14000 16000 18000 20000

Level(dBm)

Frequency(MHz)

SSG6085A

5 0

10

15

20

25

0 4000 8000 12000 16000 20000 24000 28000 32000 36000 40000

Level(dBm)

Frequency(MHz)

SSG6087A

最大输出功率，SSG6089A （不保证指标精度）

电平误差 VS 频率，输出电平= 0 dBm

电平误差 VS 频率，输出电平= -20 dBm

电平误差 VS 频率，输出电平= -40 dBm

电平误差 VS 频率，输出电平= -83 dBm

VSWR

level ≤0 dBm，ALC State ON

VSWR

1 MHz ≤ f ≤ 6 GHz ≤ 1.6（标称值）

6 GHz < f ≤ 67 GHz ≤ 2.0（标称值）

电平设置时间

设置时间

ALC ON，固定频率，温度范围 20°C - 30°C < 10 ms

ALC OFF（S&H）固定频率，温度范围 20°C - 30°C < 20 ms

最大反向功率

最大直流电压 0 V

反向最大输入功率

1 MHz ≤ f ≤ 6 GHz 30 dBm

6 GHz < f ≤ 40 GHz 25 dBm

40 GHz < f ≤ 67 GHz 25 dBm

电平扫描

扫描方式

步进扫描（等间隔电平步进）

列表扫描（以任意电平为步进的列表）

扫描范围 仪器的幅度范围内

扫描形状 三角波，锯齿波

触发模式 单次，连续

步进变化 线性

扫描点数

步进扫描：2 - 65535

列表扫描：1 - 500

驻留时间 10 ms -100 s，ALC ON

驻留时间设置分辨率 0.1 ms

触发方式 自动，按键触发，外部触发，总线触发

触发沿 上升沿触发，下降沿触发，仅当触发为外部触发时，需要设置

内部调制源（LF）

波形 正弦波，方波，三角波，锯齿波，DC

频率范围

正弦波 0.01 Hz-1 MHz[1]

方波，三角波，锯齿波 0.01 Hz-20 kHz

频率分辨率 0.01 Hz

频率误差 与射频参考源相同

频率响应 ≤ 0.3 dB

幅度偏移

设置范围 min(2.5 ,2 ) 1

2

V LEVEL V −

Offset 设置分辨率 0.001 V

交流输出电压[2]

设置范围 1 mVpp - 3 Vpp

电压分辨率 1 mV

DC 电压误差 1 %*设置值 ± 3 mV

输出阻抗 50Ω（标称值）

LF 频率扫描

扫频方式

线性

对数

扫描形状 锯齿波，三角波

扫频方向 向上，向下

扫描时间 1 ms - 500 s

扫描频率范围 0.01 Hz - 1 MHz

触发方式 自动，按键触发，外部触发，总线触发

调制特性

同时调制

幅度调制 频率调制 相位调制 脉冲调制

幅度调制 ● ● (●)

频率调制 ● X ●

相位调制 ● X ●

脉冲调制 (●) ● ●

● 表示兼容；× 表示不兼容；(● ) 表示有限制的兼容，打开脉冲调制降低幅度调制的特性

幅度调制

调制源 内部，外部，内部+外部

载波频率范围 1 MHz ≤f≤40 GHz

调制深度[3] 0 % - 100 %

分辨率 0.1 %

调制深度误差 fmod = 1 kHz，电平 = 0 dBm < 设置值*4 % + 1 %

AM失真 fmod = 1 kHz，m< 30 %，电平 = 0 dBm < 3 %

调制频率响应 m< 80 %，10 Hz-100 kHz < 3 dB (标称值）

备注：[3] AM调制打开时，峰值功率小于指标内最大输出电平

频率调制和相位调制的频率分段N

band 频率范围 N

1 1 MHz ≤ f ≤250 MHz 1/8

2 250 MHz ≤ f ≤400 MHz 1/32

3 400 MHz ≤ f ≤800 MHz 1/16

4 800 MHz ≤ f ≤1600 MHz 1/8

5 1600 MHz ≤ f ≤3200 MHz 1/4

6 3200 MHz ≤ f ≤6400 MHz 1/2

7 6400 MHz ≤ f ≤128000 MHz 1

8 12800 MHz ≤ f ≤25600 MHz 2

9 25600 MHz ≤ f ≤40000 MHz 4

10 40000 MHz ≤ f ≤67000 MHz 8

频率调制[3]

调制源 内部，外部，内部+外部

最大偏移 N*5 MHz

分辨率 <偏移的0.1%或者1 Hz，取两者较大值

调制偏移误差 fmod=1 kHz 内调制 <设置值*2% +20Hz（标称值）

FM失真

fmod=1kHz ,

偏移≤ N*2 MHz <0.5 (标称值)

调制频率响应 10 Hz-100kHz <3 dB (标称值)

相位调制

调制源 内部，外部，内部+外部

最大偏移 N*5 rad

分辨率 < 偏移的0.1%或者0.01 rad ,取两者较大值

调制偏移误差

fmod=1 kHz 内调制，

偏移≤ N*5 rad

＜设置值*2%（标称值）

ØM 失真 fmod=1 kHz，偏移≤

N*5 rad

< 0.5% (标称值)

调制频率响应 10 Hz-100 kHz < 3 dB

脉冲调制（SSG6080A-PU）

调制源 内部，外部

通断比

1 MHz < f ≤ 6

GHz > 70 dBc (典型值)

6 GHz < f ≤ 13.6

GHz > 80 dBc (典型值)

13.6 GHz < f ≤

40 GHz > 75 dBc (典型值)

40 GHz < f ≤ 67

GHz > 70 dBc (典型值)

上升下降时间(10 % /

90 %)

< 15 ns (典型值)

脉冲设置周期 40 ns - 300 s

脉冲发生器

调制源 内部，外部

脉冲形式 单脉冲，双脉冲

脉冲周期

设置范围 40 ns - 300 s

分辨率 10 ns

脉冲宽度

设置范围 20 ns - 300 s

分辨率 10 ns

双脉冲间隔

设置范围 20 ns - 300 s

分辨率 10 ns

2# 脉冲

设置范围 20 ns - 300s

分辨率 10 ns

触发方式 自动，外触发，外部门控，按键触发，总线触发（GPIB，USB，LAN）

触发沿 上升沿，下降沿

触发极性 正极性，负极性

触发延迟设置范围 使用外部触发 140 ns - 300 s

触发延迟设置分辨率 使用外部触发 10 ns

脉冲串发生器（SSG6080A-PT）

脉冲串发生器

脉冲数 1 - 2047

通断时间范围 20 ns - 300 s

脉冲重复次数 1 - 65535

【3】 序列号 SSG6AA3XXXXXXX 第 7 位≥3，且无相噪 option 时，支持 FM,PM，

输入输出

前面板连接器

RF输出（SSG6083A/ SSG6085A/ SSG6087A/）

阻抗 50Ω

连接器 2.92 mm 阳头

RF输出（SSG6089A/） 连接器 1.85 mm 阳头

内部调制器发生器（LF）输出

阻抗 50Ω

连接器 BNC阴头

后面板连接器

外部触发输入

阻抗 100 kΩ

连接器 BNC 阴头

触发电压 5 VTTL

外部调制输入

阻抗 高阻

连接器 BNC 阴头

脉冲输入或者输出

阻抗

输入：高阻；

输出：50Ω

连接器 BNC 阴头

输入/输出电压 CMOS 3.3 V

10 MHz外参考输入

阻抗 50 Ω

连接器 BNC 阴头

输入电平范围 -5 dBm ~ 10 dBm

10 MHz参考输出

阻抗 50Ω

连接器 BNC 阴头

输出电平范围 > 0 dBm

信号有效输出

阻抗 50Ω

连接器 BNC 阴头

输出电平 CMOS 3.3 V

通信接口

USB-HOST USB-A 2.0

USB-DEVICE USB-B 2.0

LAN LAN（VXI-11，Socket，Telnet）

一般技术规格

电源

输入电压范围，AC 100 V - 240 V（±10 %），50 / 60 Hz

功耗 全部选件工作 128 W

显示

类型 TFT LCD，800（RGB）*480，5英寸电容触摸屏

结构

尺寸 W×H×D = 482×104×540 mm

净重 11.6kg

大规模存储

大规模存储 FLASH 非易失存储器（内部存储），U盘

数据存储空间 FLASH 非易失存储器（内部存储） 4G Bytes

工作环境

湿度 0~30℃，＜95 % 相对湿度；30℃ to 50℃ ，＜75 %相对湿度

温度范围 工作温度范围：0℃ ~ 50 ℃，存储温度范围：-20℃ ~ 70℃

标准

电磁兼容

传导骚扰 CISPR 11/ EN 55011 CLASS A group 1，150kHz-30MHz

辐射骚扰 CISPR 11/ EN 55011 CLASS A group 1，30MHz-1GHz

静电放电

(ESD)

IEC 61000-4-2/

EN 61000-4-2 4.0 kV（接触），8.0 kV（空气）

射频电磁场

抗扰度

IEC 61000-4-3/

EN 61000-4-3

10 V/m（80 MHz to 1 GHz）；

3 V/m（1.4 GHz to 2 GHz）；

1 V/m（2.0 GHz to 2.7GHz）

电快速瞬变

脉冲群 (EFT)

IEC 61000-4-4/

EN 61000-4-4 2 kV （AC输入端口）

浪涌 IEC 61000-4-5/

EN 61000-4-5

1 kV （火线到零线）

2 kV （火/零线到地）

射频连续传导

抗扰度

IEC 61000-4-6/

EN 61000-4-6 3 V，0.15-80MHz

电压暂降与

短时中断

IEC 61000-4-11/

EN 61000-4-11

电压暂降：

0% UT during 1 cycle；

40% UT during 10/12 cycles；

70% UT during 25/30 cycles

短时中断：

0% UT during 250/300 cycles

安全规范

UL 61010-1:2012/R: 2018-11；CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1:2012/A1:2018-11.

UL 61010-2-030:2018；CAN/CSA-C22.2 No. 61010-2-030:2018.

订购信息

产品名称 SSG6000A 系列射频信号源 订货号

主机信息

SSG6083A 100 kHz - 13.6 GHz SSG6083A

SSG6085A 100 kHz - 20 GHz SSG6085A

SSG6087A 100 kHz - 40 GHz SSG6087A

SSG6089A 100 kHz - 67 GHz SSG6089A

标配附件

一份快速指南、一根电源线、一根 USB 数据线、一张校

准证书、2.92mm（母-母）适配器

选件

脉冲调制 SSG6080A-PU

脉冲串发生器 SSG6080A-PT

低相位噪声选件 1 SSG6080A-LPH1

低相位噪声选件 2 SSG6080A-LPH2

机架安装套件 SSG-RMK

USB-GPIB 转换适配器 USB-GPIB

射频带宽升级至 20 GHz SSG6080A_F85