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基础信息Product information

产品名称:碳化硅SiC、氮化镓GaN、IGBT曲线参数测试仪

产品型号:

更新时间:2021-11-06

产品简介:

碳化硅SiC、氮化镓GaN、IGBT曲线参数测试仪,适用于MOSFET、CMOS,IGBT,三极管,二极管等材料、工艺和半导体器件电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 特性测试。日本岩崎IWATSU半导体特性曲线图示仪3KV-15KV,400A-8000A;CS-3300,CS-3200,CS-5400,CS-5300,CS-5200,CS-10800

产品特性Product characteristics

专业仪器设备与测试方案供应商——上海坚融实业有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 坚友(上海)测量仪器有限公司JETYOO INSTRUMENTS,为原安捷伦Agilent【现是德KEYSIGHT】品牌技术经理-坚JET与吉时利KEITHLEY【现泰克Tektronix】品牌产品经理-融YOO于2011年共同创办,专注工业测试领域十六年,志在破旧立新!填补进口仪器设备大多数厂家仅在国内设销售点,但技术支持薄弱甚至没有,而代理经销商也只做商务,不做售前技术支持/测试方案和售后使用培训/维修校准的空白。我们的技术型销售均为本科以上学历,且均有10年以上测试行业经验,以我们先进独特的经营理念,与客户互惠互利合作双赢,重在协助用户采购与技术工程师的工作,提供最具竞争力的供应链管理与售前售后技术支持。坚融实业——一家致力于为祖国用户提供仪器设备、测试方案、技术培训、维修计量全面服务的仪器设备综合服务商。


   碳化硅SiC、氮化镓GaN、IGBT曲线参数测试仪,适用于MOSFET、CMOS,IGBT,三极管,二极管等材料、工艺和半导体器件电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 特性测试。

日本岩崎IWATSU半导体特性曲线图示仪3KV-15KV,400A-8000A;CS-3300,CS-3200,CS-5400,CS-5300,CS-5200,CS-10800适用于碳化硅SiC、氮化镓GaN、IGBT、二极管,晶体管,场效应管 MOS-FET, 可控硅 SCR,达林顿阵列,光电耦合,压变电阻 VARISTOR,继电器 RELAY 等半导体器件反向 恢复特性,短路特性,雪崩测试,结电容/电阻测试,漏电参数,击穿参数,增益参数,导 通参数,混合参数,电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 特性测试。

日本IWATSU Curve Tracer CS-3300图示仪是最新颖的曲线图示仪, 可以支持最大峰值从3,000V/400A至15,000V/8,000A. CS系列不仅适用于高电压或高电流功率器件 (如最新的 IGBT 和功率 MOSFET) 的特性测试, 还可用于各种半导体器件 (如晶体管, 二极管和 LED) 的特性测试, 及电力电子器件 (如 SiC 和 GaN) 的电容测试 (选件 CS-603A/CS-605A).  测试结果可以存储在内存中, 或通过标配的USB 端口和 LAN 接口被发送到 PC.



产品特点

显示屏: 8.4″ 彩色TFT液晶显示屏

正确测试半导体如IGBTs, MOSFETs, 晶体管和二极管的最佳解决方案

采用电路图模式显示内部的配线状态 (CONFIGURATION), 更好地避免模块测试时的误操作(附图)

WAVE模式: 能确认实际印加电流和电压波形的监察模式 (附图)

可以像示波器一样通过观察模块上实际印加电流和电压的波形来确定脉宽和实际测试点 (Timing)

可通关确认实际波形, 适时调整脉宽和测试点

避免示波器的探棒影响, 可确认实时的异常信号

可非常容易地确认模塊發熱等引起的振蕩等熱异常情況

可实现SiC和GaN等器件的电容测试 (选件CS-603A/CS-605A)

可实现晶圆和芯片上的电容测试 (探针台和选件CS-603A/CS-605A)

标配LAN和USB接口


日本IWATSU Curve Tracer CS-3300图示仪产品应用

适用于高电压或高电流功率器件 (如IGBT和功率MOSFET) 及半导体器件 (如晶体管, 二极管和 LED) 的特性测试

电力电子器件 (如 SiC和GaN) 的电容测量 (选件CS-603A/CS-605A)

可实行晶圆和芯片上的电容测试 (探针台和选件CS-603A/CS-605A)

静态特性测试包括漏电流, 饱和电压, VF和Vth (附图)

传输特性 (Vge-Ic/Vge-Vce) 和电路模块的测试功能

器件测试

可以在短时间内执行多个器件的测试和记录. 操作员只需根据器件替换和连接更改来输入样本名称, 以重复相同的测试.  在既定条件下判断 (通过/失败) 将显示每个测试与图像和波形数据也将自动存储(附图)


半导体温度特性测试评估

CS-810控制加热板. 儘管测试需要很长的时间 (如温度测试), 仍可自动执行 (附图)


痠劳测试

在痠劳测试中可以包含各种各样的参数. CS-810 软件支持长时间可靠性测试.  通过曲线图示CS-810监察电压和电流, 那些曲线的区别能被记录下来.  痠劳测试可以实现多种参数的自动测量.  偏置会停止超越电流或电压的限制值并以此设定为下限和上限的极限值.  CS-810 软件测量 Ic 或 Vce (区间: 10s 至 2h) 和保持一定的电压或电流 (10s 至 1,000h) (附图)

与探针台共用时, 可实现晶圆测试 (附图)



碳化硅SiC、氮化镓GaN、IGBT曲线参数测试仪产品功能

电子电力元件或器件测试波形特性的功能显示 (附图)

配备选件 CS-603A (3kV) 或 CS-605A (5kV), 可实现电子电力器件如SiC和GaN等的电容测试

在3kV (CS-603A)/5 kV (CS-605A) 作自动与扫描电容测试

曲线图示仪的测试适配器可用于各种器件封装类型

测试参数包括:

Cies, Ciss (输入电容)

Coss (输出电容)

Cres, Crss (反向传输电容)

Ct (端子间的电容)

Cgs, Cge/Cgd, Ccg/Cds, Cce (已计算)

Rg (栅极电阻)

可实行晶圆和芯片上的电容测试 (探针台和选件CS-603A/CS-605A)

具有外部联锁功能的恒温箱高低温试验

与电脑全自动化结合

CS-810半导体参数测试软件 (选件)

通过对主机的远程控制, 可实现各种自动测试的软件. 传统上通过曲线图示仪难以进行的疲劳测试. 加热实验或同时控制恒温箱进行多温度点实验都可使用本软件来实现 (附图)


USB 存储器

图像: 数据和设置条件

格式: TIFF, BMP, PNG保存格式 (背景可选择为黑色或白色, 彩色或单色)

波形数据: 文本文件和二进制文件

远程控制工具

如因保密需要而冇法使用USB存储器时, 可以通过安装在PC的远程控制工具进行数据存取

以太网

标準配置 (主机背面)

测试点数可调整.可根据需要的扫描速度及分辨率来设置. 根据不同用途可改变扫描方向.  同时具有客户功能, 可以仅对某一段进行扫描, 特别是在自动测试时可以实现高速且高分辨率的测试(附图)


用户友好的测量屏幕

图形配置屏幕    晶体管V-I特性示例(跟踪模式)



图形配置选择    晶体管I-V特性示例(Trace模式)

大电流脉冲模式(波模式)下的Vbe和Ic波形
高电流脉冲模式(波模式)下的Vbe和Ic波形


IWATSU半导体特性曲线图示仪CS-3100,CS-3200,CS-3300规格参数指标

项目

CS-3100

CS-3200

CS-3300

集电极电源


模式

高电压

AC、±全波整流、± DC、±LEAKAGE

大电流

-

脉冲


zui大峰值功率

120 mW、1.2 W、12 W、120 W、390 W
*可以选择390 W(不含3000 V范围下的zui大峰值电压设置)。

-

大电流模式(400 W、4 kW)

大电流模式(400 W、4 kW、10 kW)


高电压模式

zui大峰值电流
(zui大峰值脉冲电流)

zui大峰值电压

75 mA (150 mA)

3000 V(2500 V,AC)

750 mA (1.5 A)

300 V

7.5 A (15 A)

30 V





环路校正

测试台的集电极引脚与接地之间的杂散电容由高电压模式下的硬件提供补偿,还可提供数字补偿。


大电流模式(脉冲)

-

zui大峰值电流

zui大峰值电压

400 A

40 V

40 A

40 V




zui大峰值电流

zui大峰值电压

1000 A

40 V

400 A

40 V

40 A

40 V





脉冲宽度/测量点

-

脉冲宽度可在50 - 400 μs范围内变化。
可以测量点(分辨率为10 μs/步进)。


数据点上限

每次跟踪可以20 - 1000个点。

阶梯信号发生器


电流模式

幅度范围:50 nA - 200 mA,共21个范围,步进为1-2-5
zui大电流:±2A/偏移:步进幅度设置的±10倍


电压模式

幅度范围:50 mV - 2 V,共6个范围,步进为1-2-5
zui大电压:±40V/偏移:步进幅度设置的±10倍


步进率

梯形波:50 Hz或60 Hz的2倍
(AC模式下为50 Hz或60 Hz)

梯形波:50 Hz或60 Hz的2倍(AC模式下为50 Hz或60 Hz)
脉冲:脉冲变化范围为80ms - 1000 ms。
(zui低频率受zui大峰值功耗设置限制。)


脉冲步进

脉冲宽度可在50μs - 400 μs范围内变化(分辨率为10μs)。


步进数

0 - 20步

AUX输出


范围

关闭,-40V - +40 V,按100mV分辨率变化

垂直轴


集电极电流

范围

高电压模式:1 μA/div - 2 A/div,共20个范围,步进为1-2-5。

-

高电流模式:100 mA/div - 50 A/div,共9个范围,步进为1-2-5。

高电流模式:100 mA/div - 100 A/div,共10个范围,步进为1-2-5。

精度

2%读数 + 0.05 × VERT/div设置值或更低(下面的内部环路校正错误必须加至左边的公式中。)
3 kV范围:6 μA、300 V 范围:1 μA, 30 V 范围:0.5 μA(仅针对各电压范围面积的10%或以上。)


发射极电流(泄漏)

范围

1 nA/div - 2 mA/div,共20个范围,步进为1-2-5

精度

2%读数+ 0.05 × VERT/div设置值 + 1 nA 或更低

水平轴


集电极电压

范围

高电压模式:50 mV/div - 500 V/div,共13个范围,步进为1-2-5

-

高电流模式:50 mV/div - 5 V/div,共7个范围,切换步进为1-2-5

精度

2%读数 + 0.05 × HORIZ/div 设置值或更高


基极/发射极电压

范围

50 mV/div - 5 V/div,共7个范围,步进为1-2-5

精度

2%读数 + 0.05 × HORIZ/div 设置值或更高

其他


监视器

8.4英寸彩色TFT液晶屏(SVGA 800 x 600像素)


数据保存/读取

内置:存储器(设置:256,REF波形: 4)
外置:移动存储器(连接至USB端口)
(设置、波形保存/再调用、屏幕硬拷贝)


USB

1个端口(USB1.1)


远程控制

通过局域网进行远程控制:1个端口(100BASE-TX)


电源/功耗

电源输入范围:100 - 240 V AC,
50/60 Hz 功耗:500 VA


配件

CS-301(S型测试台)、
CS-500(测试适配器)、
操作手册、
电源线

CS-302(M型测试台)、
CS-500(测试适配器)、
线束、
操作手册、
电源线

机械部分


尺寸(mm)

424 (长) x 555.2 (宽) x 221 (H)(不含外部凸出部分)

424 (长) x 555.2 (宽) x 354.5 (H)
(不含外部凸出部分)


重量

约30 kg(不含选配件)

约45 kg(不含选配件)


环境条件

工作温度:0 - +40 °C、
保证性能温度:+10 - +35 ℃


CS-3100,CS-3200,CS-3300功能

观察I-V曲线以及电压和电流的应用波形

电流和电压脉冲在高电流模式下的应用

应用电流和电压的脉冲宽度以及测量点额定可设定为50 - 400 μs之间(CS-3200和CS-3300)。
MOSFET“电流"和“电压"特性测量示例


可选择“扫描类别"(SWEEP TYPE)
“扫描类别"包括“下"(DOWN)、“上"(UP)和“定制"(CUSTOM)(所有模式)。
如“定制"模式,可以扫描值之间的范围。


CS-800半导体参数搜索(可选)
该主控装置软件选项支持电压和电流限制功能,以及自动Vth测量功能。

限制扫描(LIMIT SWEEP)
如果在“扫描"操作前了电压和电流限值,操作会在超过限值后的下一个测量点停止执行。

Vth和hFE设置
Vth和hFE可以自动测量。
Vth自动测量示例。    

远程工具

如果因安全原因不允许使用USB存储器,可以通过局LAN将屏幕截图、CSV格式测量结果及其他数据直接传输到个人电脑上。

免费提供远程操作软件。但使用该软件时必须安装NI VISA库(需要收费)。    


CS-810半导体参数测量(选件)
这是一款电脑应用程序,用于通过局域网将配有CS-800的主控装置连接到个人电脑上(可选)。该应用程序可以根据个人电脑的测量条件进行自动测量,并确定数据的正确性。


CS-3100,CS-3200,CS-3300面板介绍


1显示屏
8.4英寸亮丽屏可以显示详细的波形情况。采用大尺寸屏幕,可以显示菜单和参数而不影响波形网格。

2连接性
CS-3000系列前面板上配有USB端口,方便生成报告。按下复制(Copy)按钮即可将屏幕截图保存到USB设备。

3读出显示屏
读出显示屏采用不同颜色代表不同功能,操作设置一目了然。

4断路器
前面板上分别提供高电压(所有型号)和高电流(CS-3200/3300)断路器。

5菜单操作
使用功能旋钮和功能键来操作菜单。

6复制(COPY)按钮

7配置(CONFIGURATION)按钮
用于显示连接和信号应用状态。

8阶梯发生器
使用该旋钮可以设置步进和偏移。

9查看/脉冲(VIEW/PULSE)按钮
用于切换跟踪(TRACE)与波形(WAVE)视图。
在波形视图下,屏蔽显示应用电压和电流的时间轴波形,常规曲线跟踪器无法观察到这种波形。

10垂直(VERTICAL)和水平(HORIZONTAL)旋钮
这些旋钮安装在易于操作的地方。

11变量(VARIABLE)旋钮
用于调节集电极电源的输出电压。
采用耐用型旋钮适合频繁使用。

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